梳齿式硅微机械加速度计静电力引起的若干问题

摘要：

本文根据梳齿式硅微机械加速度的工作原理及特点,分析了静电力产生的原因,并导出静电及由静电力产生的负刚度的表达式.讨论了负刚度对系统总刚度的影响以及带来的一系列问题.在此基础上,对微机械加速度计与传统加速度计的区别作了一定的探讨.

关键词： 微机械加速度计 静电力 刚度

作者: 王松 董景新 曹志锦

作者单位: 清华大学(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会控制与应用第十届学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 678-682

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）