关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题

摘要：

本文对叉齿式微硅机械加速度计的表头结构设计方法及理论公式进行了研究.提出了针对叉齿式微硅机械加速度计的闭环控制区别于常规闭环系统的负刚度等特殊问题,在此基础上推导出在给定性能参数下,设计加速度计表头最小分辨率、最大量程的方法和理论计算公式.

关键词： 叉齿式 微硅加速度计 分辨率 量程 稳定性 表头结构

作者: 刘云峰 董景新 曹志锦

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会控制与应用第十届学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 672-677

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）