压控式RF MEMS开关阵列—相移器可动薄膜的研究

摘要：

开关阵列—相移器是由21-32个隔膜式开关组成.薄膜弹性是开关发生动作的必要条件,本文研究压控式RF MEMS开关阵列—相移器的可动薄膜性能.

关键词： 毫米波相控阵天线 毫米波相移器 半导体薄膜 弹性系数

作者: 郭方敏 忻佩胜 赖宗声 朱自强 朱守正

作者单位: 华东师范大学信息科学技术学院(上海);中国科学院上海冶金研究所传感技术联合开放实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 99-100

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）