偏振光调制方法测试薄膜的光学性质和介电性质

摘要：

用光学方法研究半导体材料的物理性质,有其非常突出的优点.本文研究用偏振光调制方法测试半导体薄膜的光学性质和介电性能.

关键词： 半导体薄膜 光学性质 介电性能 偏振光调制方法

作者: 刘还平 于红燕 孙春鹏 王凤平

作者单位: 北京科技大学应用科学学院物理系(北京) 中国计量科学研究院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 56-57

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）