被沉积在热衬底上的TiNi薄膜的性能表征

摘要：

本文对沉积在热衬底上的TiNi薄膜进行了X射线散射分析,并用小角X射线散射技术研究了TiNi合金薄膜其中生长的晶化粒子的界面特征和晶粒大小.

关键词： TiNi薄膜 热衬底 X线散射分析 性能表征 晶体生长

作者: 李永华 孟繁玲 刘艳华 邱丽霞 王煜明

作者单位: 吉林大学材料科学系(吉林长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 50-51

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）