低压金刚石薄膜场发射特性研究

摘要：

本文通过在金刚石薄膜表面蒸镀纳米量级金膜作为栅级的方式,在低于10V的电压下观察到金刚石薄膜的场发射,共发射电子的发散角度小于6°,接近于面发射.

关键词： 金刚石薄膜 场发射特性 发散角度 发射阈值电压

作者: 元光 宋航 李树玮 蒋红 缪国庆 金亿鑫

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(吉林长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 37-38

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）