低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索

摘要：

本文报道了低成本颗粒硅带衬底(SSP)的性质和采用化学汽相(RTCVD)在颗粒硅带衬底上制备的多晶硅薄膜的工艺条件及薄膜的特性;同时给出通过扩散工艺制成的多晶硅薄膜太阳电池的转换效率分别为6.36﹪(高弛硅粉制成的SSP衬底)和4.5﹪(低纯硅粉制成的SSP衬底).

关键词： 颗粒硅带 薄膜 太阳电池 多晶硅薄膜工艺 外延生长

作者: 许颖 励旭东 于元 曹耀辉 张华 赵玉文

作者单位: 北京市太阳能研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 12-15

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）