传感器在气体质量流量控制器中的应用

摘要：

对气体质量流量传感器基本原理、性能进行介绍,并对气体质量流量控制器及质量流量计最新产品作简要介绍.

关键词： 质量流量控制器 质量流量计 流量传感器

作者: 龚光祥 陈远谋

作者单位: 北京七星华创电子股份有限公司质量流量计分公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002中国国际传感技术及应用研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 96-99

在线出版日期: 2002-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）