气体传感器研究的新动态
本文主要叙述了国内外气体传感器发展的新动态,特别介绍了,为了克服气体传感器一致性、互换性差,而国内外在新材料及传感器新结构方面的发展等概况.其中重点介绍了微结构气体传感器的国内外进展,较详细地介绍了MEMS气体传感器的情况,并提出在微结构气体传感器今后的努力方向.
气体传感器 元件结构 结构设计
孙良彦 孔祥霞 尹丽 刘正绣
北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
国内会议
北京
中文
54-68
2002-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
气体传感器 元件结构 结构设计
孙良彦 孔祥霞 尹丽 刘正绣
北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
国内会议
北京
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54-68
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