会议专题

气体传感器研究的新动态

本文主要叙述了国内外气体传感器发展的新动态,特别介绍了,为了克服气体传感器一致性、互换性差,而国内外在新材料及传感器新结构方面的发展等概况.其中重点介绍了微结构气体传感器的国内外进展,较详细地介绍了MEMS气体传感器的情况,并提出在微结构气体传感器今后的努力方向.

气体传感器 元件结构 结构设计

孙良彦 孔祥霞 尹丽 刘正绣

北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司

国内会议

2002中国国际传感技术及应用研讨会

北京

中文

54-68

2002-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)