3-D特殊结构互连电容的BEM模拟
本文分析了直接边界元素法计算VLSI中两类特殊结构互连电容器出现较大误差的原因,指出了均匀划分对这类特殊结构互连电容器存在不合理性.为保证计算精度,本文提出了一种与均匀划分具有相当划分数的非均匀网格划分策略,并利用后验误差估计对网格作一次加密.加密后采用层次式形函数作为所加密边界元的基函数,利用少量的额外计算量对计算结果作修正.数值结果表明本文的方法对这类特殊结构电容器的计算时结果稳定,可靠.
VLSI 寄生电容 边界元素法 边界元划分 后验误差估计
陆涛涛 王泽毅
清华大学计算机科学与技术系(北京)
国内会议
贵阳
中文
257-261
2002-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）