移相式泰曼-格林红外干涉仪及应用
本文深入研究了移相式红外泰曼-格林干涉仪,研制出光机电算一体化的仪器,仪器孔径为30mm.编制了计算机软件,用于干涉图波面的拟合与红外光学系统成像质量的评价,所编软件与国际上同类软件的计算精度相当.深入研究了红外干涉仪的多种应用:红外光学系统的象质,光学件精磨粗糙度,光盘基片面形的平整度.结果表明,仪器干涉系统光学质量优于λ/25,扩展不确定度λ/130,重复性优于λ/200(λ=10.6μm).
红外干涉仪 波面拟合 干涉检验
何勇 陈磊 王青 陈进榜
南京理工大学电子工程与光电技术学院(南京)
国内会议
成都
中文
548-551
2002-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)