红外焦平面器件互连结构分析

摘要：

本文分析了影响红外焦平面器件铟柱互连结构可靠性的一些因素,通过对铟柱结构的物理分析,发现铟织构是使得铟柱结构剪切力小的重要原因,并寻找破坏或减少铟织构,提高焦平面器件互连结构的强度的方法.

关键词： 焦平面器件 铟柱互连结构 拉伸力 剪切力 铟织构 极图 红外光学器件

作者: 张钢 刘豫东 代建宾

作者单位: 华北光电技术研究所(北京) 清华大学材料科学与工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 535-537

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）