单温区碲镉汞液相外延技术的研究

摘要：

采用单温区碲化汞补偿相外延法,通过液相延舟的设计、温度参数和氢气流量的选择,在碲锌镉衬义上成功外延出碲匐汞液相外延膜.液相外延膜的组份均匀性、表面形貌、X光形貌和电性能参数均较好.

关键词： 碲镉汞薄膜 液相外延 外延母液 单温区 双温区 红外探测器

作者: 周立庆 刘兴新 王金义 董瑞清 王迎 胡增辉

作者单位: 华北光电技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 502-505

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）