衍射光学元件金刚石单点切削加工工艺的研究

摘要：

本文基于衍射光学元件的金刚石单点切削加工工艺的原理,指出了在加工过程中出现的问题,讨论了零件表面粗糙度对衍射光学元件(DOE)的微观影响,刀具的拦光效应,为衍射光学元件的加工提出了合理化的建议.

关键词： DOE 金刚石单点切削 表面粗糙度 拦光效应

作者: 李荣刚 张兴德 贺谊亮 鲍洪杰

作者单位: 华北光电技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 460-463

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）