无氢非晶硅薄膜光学常数的计算

摘要：

本文详细介绍了利用透射谱计算非晶体薄膜各项光学特性的方法.我们通过对非晶硅薄膜样品透射谱的分析,利用物理光学的基本原理,计算得到了样品的折射率、光学吸收系数、光学带隙等参数,并与有关文献报道取得了很好的一致.

关键词： 非晶硅薄膜 脉冲激光烧蚀淀积 光学参数

作者: 白婷 韦成华 刘晶儒

作者单位: 西北核技术研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 440-444

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）