用交流光热法测量极薄膜热扩散率的原理探讨
本文拟扩展测量薄膜(厚度为几十微米以上)热扩散率的周期热流法的功能,用它来测量极薄膜的热扩散率.在微细加工飞速发展的今天,有可能制造出特定设计的样品,使其局部区域为极薄膜,而其他区域则为通常薄膜.本文提出了通过制作特定样品用周期热流法测试极薄膜热扩散率的原理.
热扩散率 极薄膜 周期热流法 二维导热 交流光热法
顾毓沁 阮修林 郝京阳
清华大学工程力学系,传热强化与过程节能重点实验室(北京)
国内会议
上海
中文
885-888
2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）