电子器件在制造过程中的均匀化加热法的开发研究

摘要：

本文提出了在喷嘴沿被加热物体宽度方向往复移动式射流冲击加热方法可提高被加热物体的等温性,用以通过进行数值模拟,得到了在任意时刻,被加热物体的温度分布及全体计算时间内被加热物体表面平均温度分布,进而得到了喷嘴移动周期与被加热物体的等温性的关系.

关键词： 射流冲击 均匀加热 微电子制造 等温性 数值模拟

作者: 赵耀华 刘志刚 鹤田隆治

作者单位: 中国科学院工程热物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1149-1152

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）