热辐射的微尺度效应对微结构气敏传感器的影响
在微电子、微机械技术中,常采用气体夹层结构减少热损失,提高器件灵敏度.然而夹层热辐射的微尺度效应反而可能引起器件功耗的增加.本文结合热辐射的微尺度效应理论,对微结构气敏传感器进行了热分析.通过计算比较不同辐射能力下器件的温度分布及功耗,为传感器的结构设计提供依据和参考,并提出了一进一步降低功耗的途径和方法.
热分析 微结构气敏传感器 热辐射 微尺度传热 温度分布
韩茂华 梁新刚
北京清华大学工程力学系
国内会议
上海
中文
517-520
2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）