基于Boltzmann方程的传质理论

摘要：

微/纳米技术的兴起,提出了一系列有待解决的热科学问题,而建立有效的理论分析方法是其中重要的目标之一.在现今几类有限的措施中,Boltzmann方程方法是一种相当有效的处理微/纳尺度输运问题的有效宽适用性的方法,但该理论目前主要用于微/纳尺度方面的传热问题分析,在传质问题的研究上鲜有尝试.本文基于Boltzmann方程理论,建立了多组份物质中的质扩散方程及包括热质耦合效应在内的统一方程,特别讨论了非Fick扩散效应的内在物理机制,并提出了质扩散系数的尺度效应问题,给出了一个具体的分析例子,讨论了该问题在半导体薄膜粒子注入改性方面的应用.

关键词： Boltzmann方程 传热传质 热质耦合 非Fick效应 松弛时间 微/纳米技术

作者: 吕永钢 刘静

作者单位: 中国科学院理化技术研究所低温中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 469-472

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）