硬轴炉晶转爬动的原因分析

摘要：

硬轴炉是拉Ｎ型高昌的关键设备。但硬轴炉往往引起单晶爬动－－晶锭扭振，这些然会引起单晶生长困难。该文通过对硬轴炉单晶的模型简化，分析研究了引起的单晶爬动的原因，由此指导生产实践，取得了良好的效果。

关键词： 硬轴炉 单晶爬动 硅 单晶炉

作者: 沈益军 杨光宇 肖世豪

作者单位: 大学半导体厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 270～271

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）