关键词： 硬质新材料 多层复合膜 远离平衡态工艺 低温沉积 二重工艺
作者: 闻立时 黄荣芳
作者单位: 科学院,金属研究所 城市大学,沈阳表面工程中试基地
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 34～49
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）