采用Java实现的二维氧化应力有限元分析与模拟

摘要：

Ｊａｖａ语言作为一种新兴的面向对象语言，正在科学计算领域得到广泛的应用。文章介绍了采用Ｊａｖａ语言，对二维氧化中存在的应力进行了有限元分析与模拟，所得结果与ＳＵＰＲＥＭ－ＩＶ的结果进行了全面的比较。

关键词： 应力分析 有限元Java 二维氧化

作者: 董宁 田立林

作者单位: 大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 403～406

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）