关键词： 铟锡合金 磁控溅射 透明导电 薄膜
作者: 颜悦 沈玫 幻建超 张云阁
作者单位: 航空材料研究院
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 228～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）