关键词： 阴极靶 磁控溅射 铁磁性材料 薄膜
作者: 戴法震
作者单位: 建筑材料科学研究院玻璃科学与特种玻璃纤维研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 248～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）