衬底温度和激光能量对激光制备类金刚石薄膜的影响

摘要：

用脉冲激光沉积(PLD)方法制备出类金刚石薄膜。处用Raman谱研究了制备过程吉衬底温度和光功率密度变化对薄膜性质的影响。结果表明，在实验所用的衬底温度范围之内（室温－700℃）和激光功率密度变化范围之内，对Raman解谱分析所得到的D-峰与G-峰的积分强度之比(I<,D>/I<,G>)随衬底温度升高而增加，随激光功率密度的增加而减小。该文对此进行了讨论。

关键词： 衬底温度 激光能量 金刚石薄膜

作者: 马玉蓉 沈维康 陈刚 王冠中 方容川

作者单位: 中国科技大学物理系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 43～45

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）