Si,Ni和Cu衬底上沉积非晶金刚石薄膜的摩擦和磨损性能(摘要)

摘要：

本文报告了用真空磁过滤弧沉积技术(FAD)在Si,Ni和Cu衬底上沉积非晶金刚石薄膜(a-D)及其摩擦和磨损性能的研究结果.

关键词： 衬底沉积 非晶金刚石薄膜 磨损性能

作者: 王效东 陈智颖 柳襄怀 王渭源

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 300-303

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）