GaAs衬底脱氧工艺热力学分析

摘要：

热力学和真空蒸发流计算相结合，模拟GaAs脱氧过程，预测脱氧要求的工艺条件和外加As源、Ga源的影响，并从机理上进行了解释。计算结果可作为设计GaAs脱氧工艺的依据。

关键词： 衬底材料 脱氧工艺 热力学分析

作者: 沈剑韵 白克武

作者单位: 北京有色金属研究总院(北京) 北京有色金属研究 总院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国相图学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 191～194

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）