移相式数字光学轮廓仪的研制

摘要：

相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法.本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的6JA型干涉显微镜结合起来,研制成功了移相式数字光学轮廓仪,其测量范围0.5mm～1um,精度达到了σ<0.05nm(Ra),σ<0.7nm(P-V).由于相关技术的突破,该仪器可以对多种材料、多种轮廓形状的表面实现测量,并得到了较好的结果.

关键词： 移相干涉技术 干涉显微镜 数字光学轮廓仪

作者: 于瀛洁 陈明仪 韦春龙

作者单位: 上海大学(延长校区) 精密机械工程系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 145-146

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）