关键词： EDS 薄膜厚度 元素深度分布
作者: 赵家政 徐洮
作者单位: 科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十次全国电子显微学会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 177～178
在线出版日期: 1998-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）