准分子激光加工表面形貌分形参数表征研究

摘要：

论述了微摩擦对微机电系统的影响和微摩擦与表面形貌的密切关系,概述了分形的基本概念和两种常用的分形参数的计算方法,用结构函数法等分析了准分子激光加工的陶瓷表面是分形表面,用功率谱法计算了准分子激光加工的陶瓷表面轮廓的分维D,将计算所得的分形维数D与轮廓高度的算术平均值Ra值和均方根σ值加以比较,得出它们之间为非线性关系,并拟合出经验公式.为进一步研究准分子激光加工表面形貌的分形表征方法奠定了基础.

关键词： 准分子激光加工 Al<,2>O<,3>陶瓷 表面形貌 分形表征 微机电系统 微摩擦

作者: 陈志新 刘莹

作者单位: 南昌大学机电工程学院(江西南昌)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国摩擦学大会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 732-735

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）