电化学沉积DLC薄膜的摩擦学特性研究

摘要：

采用电化学沉积的方法,在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜.用原子力显微镜和扫描电子显微镜等观察分析薄膜表面形貌,考察了薄膜在不同配副及不同载荷条件下的摩擦磨损性能,并初步探讨了其摩擦磨损机理.结果表明:电化学沉积类金刚石碳膜在与陶瓷偶件对摩时具有较低的摩擦系数和良好的耐磨性,同钢对摩时的摩擦系数较高,耐磨性较差.

关键词： 电化学沉积 类金刚石碳膜 摩擦学特性 单晶硅

作者: 阎兴斌 徐洮 杨生荣 陈淼

作者单位: 中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国摩擦学大会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 661-663

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）