功能陶瓷表面电泳抛光的实验研究

摘要：

本文介绍了电泳抛光技术在功能陶瓷表面加工中的应用,并在自行改装的电泳抛光机上对半导体硅板进行了抛光试验,获得了电压、抛光间隙、抛光时间对抛光效率的影响规律,为电泳抛光技术的深入应用奠定了基础.

关键词： 电泳抛光 半导体硅板 抛光效率 功能陶瓷 表面加工

作者: 江亲瑜 张继和

作者单位: 大连铁道学院机械工程系(辽宁大连)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国摩擦学大会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 476-478

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）