微谐振器的静电摩擦力分析
微型机械由于几何尺寸的微小化,使得与尺度低次方有关的粘性力、表面张力、静电力、摩擦力等表面力的作用显著增强,静电力是其中比较长程的作用力.因为微结构表面难以控制的表面陷落电荷的存在,任何表面都有可能带有电荷,产生静电场.本文以微谐振器为对象,建立了微间隙平行板静电摩擦力分析模型,对微结构的尺度效应、表面粗糙度以及外加电场对微结构界面间静电阻力的影响进行了讨论.发现外加电场电压、构件宽厚比和表面粗糙度对静电摩擦力有明显影响.
微谐振器 静电摩擦力 表面粗糙度 微结构
王建贵 沈雪瑾 陈晓阳
上海大学机电工程与自动化学院(上海)
国内会议
兰州
中文
374-377
2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）