表面粗糙度对于微结构粘附的影响分析

摘要：

考虑实际微结构表面粗糙度对粘着特性的影响,利用表面力以及表征微尺度粘着弹性接触理论的粘着数对微机械可典型的微悬臂梁结构的剥离数(peel number)进行修正.结果表明,由于表面粗糙度的存在,微结构中的粘着作用削弱,而这种作用可以利用粘着参数(adhesion parameter)θ来定量刻画.

关键词： 粘着 微尺度粘着接触 微结构 微电子机械 表面粗糙度

作者: 王立森 赵亚溥

作者单位: 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国摩擦学大会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 339-343

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）