不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究
对利用直流磁控溅射技术在单晶硅表面制备的非晶碳膜进行了Cr离子注入,通过拉曼光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜对其结构和形貌进行了考察,在DF-PM动摩擦系数精密测定仪上测定了载荷3N、不同湿度下薄膜的摩擦性能.结果表明,经过离子注入的非晶碳膜更趋于无序化,sp<”3>含量增多.反应型注入离子Cr在较大离子注入剂量时能够形成Cr-C化合物,使非晶碳膜的脆性增大,磨损形式发生变化.Cr离子的注入提高了非晶碳膜的耐磨寿命,改善了高湿度下非晶碳膜的摩擦性能.
离子注入 非晶碳膜 湿度 摩擦性能 铬离子 单晶硅
阎逢元 韩修训 张爱民 阎鹏勋 许世红 牟宗信
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州) 兰州大学等离子体与金属材料研究所(甘肃兰州) 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室(辽宁大连)
国内会议
兰州
中文
165-170
2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）