过滤电弧沉积TiN、ZrN和TiN/CrN多层纳米薄膜的性能比较

摘要：

用过滤电弧离子镀(FAMIP)技术在高速钢基体上沉积了TiN、ZrN单层薄膜和TiN/CrN多层纳米薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜及其划痕的表面形貌;用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜的相组成,结合显微探针仪、划痕试验机、金相显微镜和钻床,研究了金属陶瓷单层和多层纳米薄膜的性能并进行比较.研究结果表明:3种薄膜的临界载荷值均大于80N,多层纳米薄膜的耐磨性明显优于2种单层薄膜.

关键词： 过滤电弧离子镀 纳米多层薄膜 摩擦学性能

作者: 李成明 孙晓军 曹尔妍 吕反修 唐伟忠

作者单位: 北京科技大学材料学院(北京) 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州) 中国科学院力学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国摩擦学大会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 153-156

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）