空气动力学试验中的压阻压力传感器

摘要：

本文简要介绍了作者用MEMS技术发展的几种适用于空气动力学试验研究的压阻压力传感器,包括小型、微型化、微量程及高温压力传感器.

关键词： 微机械加工 压阻压力传感器 空气动力学 实验设备

作者: 王文襄 王晋林 吴斌 王麦广

作者单位: 昆山双桥传感器研究所(昆山周庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国空气动力测控技术交流会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 196-198

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）