硅微电容式传声器的灵敏度分析

摘要：

本文简要介绍了硅微传声器的结构设计,针对硅微电容式传声器气体非常小的特点,从一般原理,低频修正三方面对硅微传声器的灵敏度进行了分析.

关键词： 硅微传声器 电容式传声器 灵敏度 结构设计

作者: 汪承灏 吕亚东

作者单位: 中国科学院声学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2002年全国声学学术会议

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 507-508

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）