硅微电容式传声器的制备

摘要：

本文在以往的研究基础上,设计制作了一种结构简单可靠的硅微电容式传声器,在9V偏置电压下灵敏度约1mV/Pa,在200Hz-12KHz的频率范围内有较平直的响应.

关键词： 电容式传声器 硅微传声器 结构设计

作者: 徐联 刘明华 解述 李晓东 马军 刘焕章

作者单位: 中国科学院声学研究所(北京) 中国科学院半导体研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2002年全国声学学术会议

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 499-500

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）