会议专题

浅谈EFM真空系统改造与维护

本文作者详细分析了原有的真空系统,存在的问题;阐明了系统改造的设计思路和具体的改造过程,以及改造所取得的成效.

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闫西红 曾志刚

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第五届全国设备维修与改造学术会议

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2002-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)