硅微压电薄膜传声器的制备

摘要：

本文介绍了一种以氧化锌ZnO为压电薄膜微传声器,阐述了其设计方法,生产工艺流程,对该ZnO压电薄膜传声器测试表明该传声器灵敏度较低有待于改进.

关键词： 传声器 硅微压电薄膜 ZnO材料 生产工艺

作者: 杨楚威 黄歆 解述 魏建辉 徐明 汪承灏

作者单位: 中国科学院声学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2002年全国声学学术会议

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 257-258

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）