小尺寸低插损SH型声表面波谐振滤波器
由于传统的声表面波(Rayleigh wave)谐振型器件的结构需要,在叉指换能器(IDT)的两边分布着大量的反射指条,从而使器件的尺寸比较大,而振动方向与基片表面平行的剪声表面波(SH SAW)透人基片较深,在工艺上比较容易实现基片自由端面的完全反射特性<””1””2”>.因此,利用这一特性来代替传统的声表面波谐振器中的指条反射阵,能够实现小尺寸低插损的新型声表面波谐振型器件.本文根据以上原理设计并实现了超小型低插损的纵向耦合(Longitudinally coupled)声表面波谐振滤波器.
表面波谐振器 指条反射阵 声表波谐振器件 插入损耗
仇钢 马晓东 章德
南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室(南京)
国内会议
桂林
中文
223-224
2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）