微机电系统中气体的相似参数

摘要：

本文介绍了钱学森在现代稀薄气体动力学方面的学术成果,讨论了稀薄空气动力学在诸如蒸馏和化工作业的高真空泵设计等微机电系统中的应用.

关键词： 微机电系统 稀薄气体动力学 航天工程 真空加工技术

作者: 樊菁 沈青

会议类型: 国内会议

会议名称: 钱学森科学贡献暨学术思想研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 181-183

在线出版日期: 2001-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）