1mm压电柱超声微电机研制

摘要：

本文介绍了一种利用压电柱研成成的直径1mm的弯曲旋转超声微电机,主要阐述了该超声微电机的结构设计,工作原理,并初步测试了转速随驱动电压的变化规律.

关键词： 压电超声微电机 压电材料 压电柱 结构设计

作者: 张凯 王欢 周铁英 郭钊 袁世明 姜开利

作者单位: 清华大学物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2002年全国声学学术会议

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 245-246

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）