电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布

摘要：

本文在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液,获得了速度快、重复性好、数据准确可靠的测试效果.

关键词： 电解液 电化学C-V LED AlGaInP半导体 外延片 载流子浓度分布 参数测试

作者: 文尚胜 华南师范大学MOCVD实验室(广州)

作者单位: 华南理工大学材料科学与工程学院(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国LED产业研讨与学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 113-116

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）