AlGaInP四元系超高亮LED外延材料生产技术研究

摘要：

采用MOCVD工艺生产AlGaInP四元系超高亮LED外延材料,成功解决了外延片的均匀性、复重性、稳定性、成品率等影响批量生产的技术关键,实现稳定连续生产.

关键词： LED AlGaInP化合物半导体 MOCVD生产工艺

作者: 路红喜 刘惠生 李志强 李艾功

作者单位: 河北汇能电力电子有限公司(河北省石家庄市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国LED产业研讨与学术会议

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 110-112

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）