沉积氮化钛技术的新进展

摘要：

氮化钛膜做为超硬涂层可以提高工模具的使用寿命，做为仿金精饰层主要用于表壳、表带、箱包五金、卫生洁具有大厅园柱等的装璜、美化，深受企业家和广大消费者的青睐。近二十年来，各种沉积氮化钛薄膜的技术层出不穷。近几年主要是多弧离子镀的磁控溅射镀出现了新的动态。

关键词： 沉积氮化钛 多弧离子镀 磁控溅射镀

作者: 玉福贞

作者单位: 深圳豪威多弧离子镀科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国耐蚀耐磨技术及工程应用研讨会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 40-41

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）