沉积和刻蚀的计算机模拟
该文介绍了沉积和刻蚀的工业应用，指出在产品加工和设计某种特殊需要的沉积和刻蚀设备中，沉积和刻他的计算机模拟的重要性和必要性，强调了在等离子体刻蚀反应堆、热喷射系统和等离子体刻蚀及等离子体加强化学蒸气沉积中，计算机模拟所使用的流体模型，蒙特卡洛方法和混合模型，这些研究的大多数使用一堆或两维流体模型或蒙特卡洛方法。然而，二维计算现在是普遍使用的方法。
沉积 刻蚀 热喷射 计算机模拟
刘之景
科学技术大学基础物理中心(合肥)
国内会议
重庆
中文
1265～1267
1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）