氮化硅陶瓷球的超精密研磨技术
氮化硅陶瓷材料属硬脆难加工材料,采用普通方法研磨HPSN/HIPSN陶瓷球,不但加工效率低,而且表面还存在大量的微裂纹和位错等缺陷,严重影响了陶瓷球轴承的性能.本文阐述了陶瓷球精密研磨加工参数的选择与其性能和加工效率的关系,介绍了氮化硅陶瓷球磁悬浮抛光(MFP)、化学机械抛光(CMP)方法等超精密加工的新技术.采用这些新的”柔和”加工技术可以实现对陶瓷材料的微细切削,使余量以塑性断裂的形式去除,从而获得非常光滑的表面(Ra=4nm)和良好的球度(0.15-0.25μm),并能提高陶瓷球的加工效率.
氮化硅 陶瓷球轴承 陶瓷材料 研磨加工
吕冰海 袁巨龙 林旭
浙江工业大学机电学院(杭州)
国内会议
大连
中文
275-279
2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）