微机械器件形状与尺寸的图像测量研究

摘要：

本文采用面阵CCD作为图像传感器,结合微机械器件结构尺寸的测量特点,建立非接触式无损图像测量系统,并给出了典型平面几何尺寸的测量原理和算法.实验结果表明系统具有良好的稳定性和较高的精度.

关键词： 微机械器件 形状尺寸 图像测量 测量原理 图像处理

作者: 邓进军 苑伟政 李晓莹 马炳和

作者单位: 西北工业大学微/纳米系统实验室(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届海内外青年设计与制造科学会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 37-40

在线出版日期: 2002-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）